반도체용 감광제원료 국산화
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1기가 D램급 이상의 차세대 메모리 반도체 제조에 필수적인 감광제의 핵심원료가 개발됐다. 일양약품은 1~4기가 D램급 반도체의 식각에 쓰이는 포토레지스트(회로식각용 감광제) 레진을 개발, 양산체제를 갖췄다. 일양은 이 물질이 불화아르곤 엑시머레이저의 빛에 감응해 미세한 회로가 파이게 해준다고 밝혔다. 또 이번에 개발한 노보넨 메탄올 유도체 등 감광제원료는 삼성전자에서 시험한 결과 순도가 높고 우수한 식각효과를 나타내 초순수 전자재료의 국산화를 실질적으로 앞당긴 것으로 평가받았다고 설명했다. 따라서 이분야 외국시제품 가격이 1리터당 3000만원을 웃돌고 있어 고부가가치의 실현이 기대된다고 일양측은 덧붙였다. 외국 반도체 제조기업은 기가급 포토레지스트의 자체개발에 주력하고 있으며, 일부는 소량생산해 자체수요를 충족하고 있는 상태이다. 국내에서는 동진화성, 동우반도체, 독일계 Hoechst산업이 양산을 앞두고 있거나 개발중이다. 일양은 삼성전자, 동진화성과 실무협의를 마치고 97년내에 본격생산에 들어가며 PAC, PAG 등 반도체광감응제 부재료의 생산에도 나설 계획이다. <화학저널 1997/9/8.15> |
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