일본 정부가 한국에 대한 수출규제를 발표한 이후 처음으로 일본산 포토레지스트(Photoresist)가 국내에 반입됐다.
일본 정부는 7월2일 한국에 불소(Fluorine)계 폴리이미드(Polyimide), 레지스트, 불화수소(에칭가스) 등 3개 반도체 핵심소재를 수출할 시 개별적으로 허가를 받도록 했다.
이후 한동안 일본산 수입이 중단됐으나 8월21일 처음으로 일본산 포토레지스트가 항공편을 통해 반입된 것으로 확인됐다.
도입처는 삼성전자로, 8월7일 일본 정부가 최초로 허가 결정을 내린 물량인 것으로 파악되고 있다.
다만, 해당 물량이 약 3개월치로 알려진 1차 허가분 전부인지 일부인지는 확인되지 않았다.
삼성전자는 해당 물량을 화성 반도체 공장의 극자외선(EUV) 생산라인으로 옮길 예정이다.
일본 정부는 현재까지 포토레지스트 2건에 대해 한국 수출 허가를 내렸으며 8월7일 발표한 1차 허가기업은 Shin-Etsu Chemical, 8월21일 발표한 2차 허가기업은 JSR인 것으로 추정되고 있다.
EUV 포토레지스트는 일본 정부의 수출규제 품목 3가지 가운데 하나로 시스템반도체 등 초미세공정에 필수적인 소재이며 아직 국산화가 불가능한 소재로 판단되고 있다.
삼성전자는 일본 정부가 8월에만 2차례 수출 허가 결정을 내림에 따라 최대 9개월치 물량을 확보함으로써 당분간 EUV 라인 가동에 문제가 없을 것으로 파악되고 있다.
한편, 고순도 불화수소와 불소계 폴리이미드는 단 1건도 수출 허가를 받지 못한 것으로 알려졌다. (K)