제어계측기 생산기업 코닉스(대표 우부형)는 초고온 열플라즈마 공정기술을 이용해 반도체 유해가스 세정장비인 스크러버(Scrubber)를 개발했다고 밝혔다.코닉스가 개발한 스크러버는 난분해성 지구온난화 물질인 PFC가스(Perfluoro compounds)도 쉽게 처리할 수 있는 반도체 유해가스 제거장비이다. 화학적 활성도가 높고 온도가 1만도에 달하는 열 플라즈마의 특성을을 적용해 PFC가스도 효과적으로 처리할 수 있다.반도체 제조공정에서 발생되는 PFC가스는 지구온난화의 주범인 이산화탄소보다 온난화 지수가 더욱 높은 대기오염물질로 세계 반도체 제조기업들은 2010년까지 사용량의 10% 감축을 약속하고 있으나 세계적으로 반도체 생산량이 폭발적으로 증가하고 있어 각국에서는 PFC대체 물질과 제거기술 개발에 박차를 가하고 있는 상황이다.코닉스는 열플라즈마 공정 기술을 개발한 연구팀을 2001년2월 자회사 「플라즈마테크놀러지」로 분사해 플라즈마 기술개발에 지속적으로 투자·연구할 예정이다.플라즈마테크놀러지는 공업용계측기과 플라즈마기술을 접목한 다양한 상품을 2001년 출시해 대기오염 관련 환경산업을 집중육성할 계획이다. 난분해성 가스처리장치, 특수 폐기물 처리장치, 플라즈마 용사장치 등 다양한 기술집약적 제품을 개발해 플라즈마 핵심기술기업으로 나설 예정이다. (02)3664-0976 <화학저널 2001/2/5> |
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