DUV 포토레지스트 복병으로
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세계 포토레지스트 생산기업들이 초자외선(DUV)부문 기술개발면에서 치열한 경쟁을 벌이고 있다. DUV는 96년기준 총 포토레지스트 시장 7억5000만달러 중 약 2%에 불과했으나 향후 시장전망이 밝은 것으로 지적되고 있다. 반도체 생산기업들은 256-Mbit세대의 칩을 생산하기 위해 0.3미크론 이하의 라인을 생산해야 하나, 초정밀 제품을 생산하기 위해서는 기존의 g-line 및 i-line 포토리토그래피 테크놀러지를 사용해서는 불가능한 것으로 지적되고 있다. 따라서 DUV의 시장규모가 2001년경 전체 포토레지스트 시장의 9%를 차지하는 등 빠른 성장을 보일 것으로 전망되고 있다. Dataquest에 따르면, 세계 칩메이커에게 수출한 신기술 중 DUV테크놀러지가 96년기준 8%에 불과하나 향후 5년내에 43% 수준에 달할 것으로 전망된다. 표, 그래프 : | 포토레지스트 시장전망 | 포토레지스트 시장점유율(1995) | <화학저널 1997/4/21> |
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