NF3, 중국시장 경쟁력 향상 절실
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세계 NF3 생산능력 연평균 15% 확대 … 대량생산ㆍ독자기술 필요 중국 NF3(Nitrogen Trifluoride) 생산기업들이 고군분투하고 있다.NF3은 전자제품용 특수가스로 폴리실리콘(Polysilicon), 질화규소(Silicon nitride) 등 반도체(Semiconductor) 소재용 에천트(Etchant)나 반도체 칩(Chip), LCD(Liquid Crystal Display) 제조용 CVD(Chemical Vapor Deposition)실 세정가스로 투입되고 있다. CVD 세정에 P-F(Perfluorohydrocarbon) 대신 NF3를 적용하면 오염물질 배출량을 90% 감축할 수 있는 것은 물론 세정 속도를 향상시켜주며 세정기 효율을 30% 끌어올릴 수 있는 것으로 알려짐에 따라 점차 P-F를 대체하고 있다. 세계 NF3 수요는 1990년대 중반 46톤에 불과했으나 2004년 2200톤으로 급증함에 따라 세계 각국의 NF3 신증설이 봇물을 이루면서 2012-15년까지 생산능력이 연평균 15% 확대될 전망이다. Air Products, Boc Edwards, DuPont을 비롯해 Central Glass, Mitsui, KDK가 세계시장을 주도하고 있는데 Air Products는 글로벌 특수가스 리더로 울산 소재 NF3 플랜트를 1000톤으로 증설하고 있으며 2009년 가동할 계획이다. 펜실베니아 소재 플랜트의 생산능력은 2200톤에 달하는 것으로 알려지고 있다. KDK는 세계 2위 NF3 생산기업으로 NF3 생산능력이 2000년 말 240톤에 불과했으나 2008년 2월 2150톤으로 확대됐고 2009년에는 2700톤으로 확대할 계획이다. 중국에서는 China Nuclear Honghua Specialty Gases, Hubei Sanoda Tianmen Agrochemical, China Shipbuilding의 The 718 Research Institute 등이 NF3를 제조하고 있다. Honghua Specialty Gases는 이플루오르화 암모늄(Ammonium Bifluoride) 기술과 DuPont의 정화기술을 채용해 순도 99.9%의 고순도 NF3를 제조할 수 있으며 생산능력은 100톤으로 나타났다. Sanoda는 2002년 1003만위안을 투자해 순도 99.9% NF3 23톤 플랜트를 건설하고 생산량의 100%를 일본의 Toshiba, Showa Denko에게 판매해왔다. The 718 Research Institute의 NF3는 순도가 99.9%를 상회하며 생산능력은 300톤으로 파악되고 있다. 중국은 LCD 생산ㆍ수출대국으로 LCD 수요 호조에 힘입어 2007-10년 NF3 수요가 연평균 20% 증가할 것으로 예상되고 있다. 다만, 중국 전자용 특수가스시장은 글로벌기업들이 좌우하고 있어 생산규모를 확대하고 독자적인 기술을 개발함으로써 국제경쟁력을 확보해야할 필요성이 절실히 대두되고 있다. 중국 NF3 생산기업들은 수출중심으로 브랜드 가치가 떨어지며 대부분 OEM(Original Manufacturing Equipment) 가공을 위해 중국으로 역수입되고 있다. <화학저널 2009/08/18> |
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