반도체 용량 개선 나노구조체 개발
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KAIST 윤동기 교수팀, 3차원 나선형구조 적용 … 제조원가 절감 기여 화학뉴스 2014.10.22
국내 연구진이 나선형 구조의 나노구조체를 만드는데 성공했다.
한국과학기술원(KAIST)은 나노과학기술대학원 윤동기 교수팀이 정밀도가 높은 나선형 나노구조체를 개발했다고 10월22일 발표했다. ![]() 나선형 나노구조체 기술은 3차원 구조 가운데 가장 구현해내기 어려운 나선형 구조를 넓은 면적에 다양한 형태로 만들 수 있는 것으로 연구팀은 온도나 농도 등 주위 환경에 따라 수십 나노미터의 공간 안에서 물리적으로 조립·분리가 가능한 연성소재를 이용해 나노구조체를 개발했다. 액체와 고체의 중간 상태인 액정 물질로 만든 나선형 나노구조체는 20-200나노미터 크기의 제한적인 공간에서 균일한 나선 형태를 유지하는 것으로 알려졌다. 나노구조체를 적용하면 현재 반도체 제조공정에서 사용하고 있는 2차원 광식각 공정을 넘어선 3차원 패터닝이 가능해 지금보다 수백배 많은 데이터를 저장할 수 있으며 공정도 획기적으로 단축돼 제조 코스트도 절감할 수 있는 장점이 있다. 연구팀 윤동기 교수는 “나노미터 크기의 나선구조체를 제어할 수 있는 물리·화학적 원리를 세계 최초로 규명한데 의의가 있다”며 “앞으로 유기분자 기반 나노구조체 등 다양한 연구에 기여할 것”이라고 말했다. 연구결과는 세계적 학술지인 미국 국립과학원회보(PNAS)에 10월7일 게재됐다. |
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