NF3(삼불화질소)는 공업용 특수가스의 일종으로 LCD (Liquid Crystal Display) 및 반도체 챔버(Chamber)를 세정할 때 사용하며 암모니아(Ammonia) 및 불소(Fluorine)를 고온 반응시켜 추출 정제해 생산하고 있다.
NF3는 전방산업 경기에 큰 영향을 받으며 2013년 반도체 경기 하락세에 따른 극도의 부진을 딛고 2015년 없어서 팔지 못하는 인기제품으로 등극했고, 반도체가 당분간 호황을 유지할 것으로 보여 NF3의 호황도 당분간 지속될 것으로 예상되고 있다.
NF3는 기존 세정가스로 사용되던 탄화불소인 C2F2, C3F3에 비해 공정효율이 높아 수요기업들이 너나할 것 없이 찾고 있기 때문이다.
국내 NF3 생산능력은 2015년 6월 기준 OCI머티리얼즈 5600톤, 효성 2000톤, 에어프로덕트(Air Products) 800톤이며 산업용 가스 전문기업인 대성산업가스는 ChemChina와 손잡고 중국에 NF3 공장을 건설하고 있다.