초고순도 실리콘 다결정 공정 개발
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국내에서 처음으로 반도체 원료인 초고순도 실리콘 다결정 (High Purity Polycrystalline Silicon)을 제조하는 새로운 공정이 개발됐다. 한국화학연구소가 동부제강과 공동으로 개발한 이 실리콘 다결정 제조공정은 삼염화실란(Thrichlorosilane, SiHCL3)으로부터 순수한 실리콘을 만드는 공정으로 불순물이 1억분의 1퍼센트 이하인 초고순도의 결정질 실리콘을 만드는 고난도 기술이다. 특히 입상의 제품형태로서는 미국의 에틸사에 이어 세계에서 두번째로 개발된 것으로 제조기술을 한단계 향상시킨 것으로 평가받고 있다. 표, 그래프 : | 반도체 실리콘 소재 국내 수요추이 | 반도체 실리콘 소재의 세계 수요추이 | <화학저널 1994/4/4> |
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