TOK가 차세대 반도체 제조기술로 주목받고 있는 EUV(극자외선) 리조그래피용 소재 사업을 확대하고 있다.
TOK는 최근 타이완 등에서 EUV 레지스트 수주량을 꾸준히 늘리고 있으며 세정제, 고순도약품 등도 타이완, 북미지역에서 생산을 강화하고 있다.
ArF(불화아르곤) 레지스트 역시 회로선폭 3나노미터에 대응할 수 있는 신제품을 개발하고 있으며 생산제품 라인업을 더욱 확충해나갈 계획이다.
TOK는 글로벌 반도체 메이저로부터 회로선폭 7/5나노미터에 대응할 수 있는 EUV 레지스트를 수주받은 것으로 알려졌다.
코스트가 높은 EUV 리조그래피를 사용하는 반도체는 게임용 그래픽스(GPU) 분야에서 주로 사용하고 있으며 EUV 레지스트 시장 역시 최근 성장기를 맞이한 것으로 평가된다.
TOK는 삼성전자에도 EUV 레지스트를 공급하고 있으며 일본 경제산업성이 7월 초 한국에 대한 수출을 규제하고 나서며 타격이 우려됐으나 실제로는 2018년부터 한국 자회사 TOK첨단재료를 통해 삼성전자에게 꾸준히 납품하고 있어 큰 영향을 받지 않은 것으로 파악된다.
물론, 일부 EUV용 원료는 일본에서 조달하고 있어 수출허가를 신청한 상태이고 아직 허가를 받지 못했으나 경제산업성의 조치가 경영에 큰 영향을 미칠 것이라고는 판단하지 않고 있는 것으로 알려졌다.
EUV 시장의 성장세가 본격화되면서 북미에서는 세정제 등 클린 솔루션을, 타이완에서는 표면개질제를 증설했다.
반도체 프로세스가 5나노미터 이하가 되면서 트랜지스터 구조도 변화하기 때문에 트랜지스터 특정 부분만을 잘라내거나 보호하는 표면개질제 수요가 증가하고 있기 때문이다.
배선 소재의 손상을 억제할 수 있는 세정제 역시 메모리 시황 회복을 타고 2020년 이후 수요가 대폭 증가할 것으로 기대하고 있다. (K)