삼성전자는 일본 정부가 한국에 반도체 소재 수출 규제를 시행한 지 2개월 만에 반도체 제조공정에 국산 불화수소를 투입하기 시작했다.
불화수소는 반도체 제조공정 중 식각·세정 작업에 사용되는 핵심 화학소재이다.
삼성전자는 9월3일 “최근 일부 반도체 공정에 국내기업으로부터 공급받은 불화수소를 사용하기 시작했다”고 밝혔다.
삼성전자는 8월 중순 솔브레인과 이엔에프테크놀로지가 타이완·중국산 원료를 정제한 불화수소를 반도체 생산라인에 시험 적용했고 최근 테스트를 끝내고 순차적으로 투입하기 시작했다.
솔브레인과 이엔에프는 그동안 일본에서 불화수소 원료를 수입한 후 정제해 삼성전자에 납품했지만, 일본의 수출규제가 시작된 후 불화수소 수입처를 타이완, 중국으로 전환했다.
삼성전자 관계자는 “민감도가 덜한 일부 반도체 제조공정부터 대체 원료를 가공한 불화수소를 투입하고 있다”고 밝혔다.