AGC가 EUV(극자외선) 노광용 포토마스크 블랭크(블랭크 마스크) 생산을 확대한다.
AGC는 2025년까지 EUV 노광용 포토마스크 블랭크 매출액을 400억엔 이상으로 확대하겠다는 목표 아래 그룹사인 AGC Electronics에 수백억엔 투자를 결정했다.
생산능력 확대 폭은 밝히지 않았으나 2020년 10월부터 공사를 시작해 2022년 상업가동할 계획이다.
AGC는 마스크 블랭크 소재인 유리를 생산할 수 있고 가공 및 코팅기술까지 갖추었다는 강점을 살려 사업 확장에 박차를 가하고 있다.
2017년에는 반도체 회로가 미세화되면서 KrF(불화크립톤)이나 ArF(불화아르곤) 광원을 사용하는 기준기술을 대신해 EUV 노광기술에 대한 니즈가 확대됨에 따라 EUV 마스크 블랭크 생산을 시작했다.
AGC는 글로벌 노광용 포토마스크 블랭크 시장에서 최대 메이저인 Hoya를 이어 30%에 달하는 시장점유율을 확보했으며 2025년에는 50%로 확대하겠다는 목표를 세우고 있다. (K)