화학뉴스

[반도체소재]
반도체, 중국도 증착가스 자급화

완후아, 디실란 진출 … 생산능력 10톤 시작으로 50톤까지 확대

화학뉴스 2025.07.03

중국 완후아케미칼(Wanhua Chemical)이 반도체용 디실란(Si2H6)을 생산한다.
최근 중국에서 화학적 기상증착법(CVD) 공정에서 이용하는 반도체 제조공정용 특수가스인 디실란 투자가 증가하고 있다. 
완후아는 디실란을 상업생산하는 2번째 중국기업이다. 현재 10톤 플랜트를 가동하고 있으며 구체적인 시기는 정해지지 않았으나 생산능력을 총 50톤으로 확대하는 계획을 검토하는 것으로 알려졌다.
계열사인 Wanhua Electronic Materials가 2024년 말 옌타이시(Yantai)에 공장을 건설했으며 2025년 3월 이미 상업생산을 시작해 반도체 뿐만 아니라 태양전지(PV), LCD(Liquid Crystal Display) 생산용으로 디실란을 공급하고 있
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[게시일 2011년 2월1일]

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