일본 스미토모케미칼(SCC: Sumitomo Chemical)이 알루미늄(Al) 스퍼터링타깃 생산능력을 확대한다.
스미토모케미칼은 포토레지스트, 고순도 화학약품 등 반도체 소재 메이저인 동시에 비철금속 생산기업의 전문 영역인 타깃 소재까지 라인업하는 독특한 포지셔닝을 통해 광범위한 반도체 시장 관련 노하우를 살려 일본 반도체용 알루미늄 스퍼터링타겟 시장 점유율의 70-80%를 장악하고 있다.
전세계에서 유일하게 원료인 고순도 알루미늄부터 타깃을 일관생산하며 알루미늄 정제 분야에서 축적한 초고순도화기술과 결정제어기술을 구사해 고품질 알루미늄 타깃을 공급하고 있다.
반도체 금속배선 공정은 알루미늄 배선보다 저저항인 구리 배선으로 전환되고 있으며 볼륨존도 구리 타깃 소재가 장