싸이클로트론을 이용한 초정밀반도체 성능시험 성공
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원자력병원 싸이클로트론응용연구실 채종서 박사팀과 삼성전자 QA팀(과장 황삼진)은 싸이클로 트론을 이용해 메모리 반도체의 SER 성능시험에 성공했다. SER(Soft Error Rate)이란 메모리 반도체 칩의 오동작을 일컫는 것으로 그동안 무시될 수 있었 던 사항이었으나, 최근 반도체 칩 내부의 구성물질(몰딩 에폭시 등)에 포함된 극미량의 우라늄 (U)이나 토륨(Th) 등 방사성 물질이 칩의 작동에 영향을 미칠 수 있으며, 대기에 존재하는 우 주방사선(Cosmic ray) 등도 메모리 칩의 오동작에 영향을 끼칠 수 있어 반도체의 설계단계에서 이에 대한 고려가 필요하게 되었다. 특히, D-RAM이 인공위성등의 우주과학 장비에 이용되거나 고산지역 등 열악한 환경에서 전자장 비로 활용되는 빈도가 증가됨에 따라 이에 대한 성능검사를 수요자들이 요구되고 있다 성능시험 성공으로 삼성전자는 메모리 반도체가 중성자선에 의해 영향을 받을 수 있는 오동작 과의 상관성을 파악함으로써 불량률을 더욱 감소시킬 수 있게 되었으며, 국제규격에서 권고하 는 1000Fit 보다 좋은 품질 수준을 달성함으로써 국내 반도체 제품의 우수성을 향상시킬 수 있 게 되었다. 시험연구에 이용된 원자력병원의 싸이클로트론 입자가속기는 현대 과학기술의 총체적 장비로 의료, 산업, 핵과학 기초연구 등의 여러 분야에서 폭넓게 응용될 수 있는 장비이며, 국내의 이 온빔 연구시설 중 최대의 시설로 과학기술부의 원자력연구기반 확충사업으로 확보된 시설이다. 싸이클로트론 시설은 기초과학 연구를 촉진시키기 위해 국내 기초과학 연구자들에게 개방하고 있으며, 싸이클로트론 시험연구 결과는 11월 브라질 상파울로에서 개최되는 IAEA 주최 가속기 이용 심포지엄에서 발표될 예정이다. <Chemical Daily News 2001/11/16> |
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