NF3 생산능력 600톤으로 증설
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關東電化, 시부가와 공장 8월 완공 예정 … IT용 수요증가 대응 일본 關東電化는 반도체 및 액정디스플레이(LCD) 제조공장에 사용되는 3불화질소(NF3)의 생산능력을 증설하기로 결정했다.현재 생산능력 500톤을 32% 늘려 660톤으로 확대하기로 하고 시부가와 공장 증설에 착수했다. 완공은 2003년 8월로 예정하고 있다. NF3 수요가 일본은 무론 한국과 타이완 등에서 계속 증가할 것으로 예상되고 있기 때문이다. 관동전화는 NF3 시장에서 미국 Air Products & Chemicals에 이은 세계 2위 메이커로 증설에 따라 앞으로도 수요확대와 함께 시장지위가 강화될 전망이다. NF3는 반도체 및 액정 제조장치용 크리닝 가스로 중요하게 사용되고 있는데, PC 외에도 디지털 카메라, DVD플레이어 등 반도체 수요 및 LCD의 급속한 공급과 대형화에 따라 NF3 수요가 꾸준히 증가하고 있는 추세이다. 반도체용은 300mm 웨이퍼 공장, 액정에서는 대형액정기판 공장이 동북아에 건설되면서 NF3 수요확대가 계속됨에 따라 관동전화가 증설에서 한발 앞서가게 됐다. 관동전화는 1987년 시부가와 공장에서 NF3 생산을 개시한 이후 수요동향에 대응해 탄력적으로 생산능력을 확대하고 있는데, 2001년 말에는 생산능력을 400톤에서 500톤으로 증설하는 등 제조공정의 일부에서는 600톤 체제에 달해 선행투자를 행한 것으로 알려졌다. 원래는 2002년 중반에 증설을 실행할 예정이었으나 IT(정보기술)산업의 경기가 침체돼 연기한 것이다. 생산능력 증설은 기존설비의 보틀넥 해소와 일부설비의 증설로 이루어진다. 2003년 1월부터 증설공사를 착수해 8월 가동을 목표로 하고 있다. 관동전화는 수요처의 신규공장 건설에 따른 수요증가에 맞춰 공급체제를 정비하고 있는데, 반도체 등에 사용되고 있는 불소 특수가스의 메이저이며 각종 가스의 품질도 우수한 것으로 인정받고 있다. 2000년 말에는 한국에 현지법인을 설립하고, 판매체재를 정비해 IT산업이 급속히 확대되고 있는 한국시장 대응체제를 강화하고 있고, 2002년에는 타이완에 주재사무실을 개설하는 등 아시아 사업을 확대하고 있다. <Chemical Journal 2002/04/02> |
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