차세대 반도체 및 디스플레이 분야의 장비ㆍ재료기술 개발과 원천기술 상용화를 담당할 대형 R&D 인프라인 나노기술집적센터가 본격 가동에 들어간다. 산업자원부는 5월30일 경북 포항의 포스텍에서 김영주 장관과 이원성 삼성전자 부사장, 박성욱 하이닉스 부사장, 박찬모 포스텍 총장 등이 참석한 가운데 6월부터 운영에 들어가는 나노센터 개설식을 가졌다. 포항센터를 포함해 광주와 전북지역에 설립될 나노센터는 반도체, 디스플레이 분야 장비와 재료의 차세대 기술개발과 상용화, 성능평가와 표준화를 지원할 방침이다. 공동 R&D 인프라격인 나노센터 개설사업은 2004년 시작돼 2008년에 마무리되며 정부 자금 900억원을 포함해 모두 2648억원이 투입된다. 산자부 관계자는 “포항센터는 극자외선 노광기술(EUVL)을 이용한 차세대 반도체 소재와 플렉서블 디스플레이 등 핵심 재료 개발에 주력하게 된다”며 “국내 유일의 가속기연구소와 연계해 20나노 이하 차세대 반도체의 핵심 재료.공정을 개발할 수 있을 것으로 기대하고 있다”고 밝혔다. 한편, 반도체와 디스플레이 분야 핵심장비 개발을 담당할 광주 나노센터와 전북 나노센터는 각각 2007년 9월과 2008년 상반기에 개소할 예정이며 주로 장비와 공정개발을 담당하게 된다. <화학저널 2007/05/30> |
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