반도체용 스캐너·스텝퍼 호조
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ASML 영업이익률 25% … LCD용은 Nikkon 증가에 Canon 급감 반도체·LCD(Liquid Crystal Display)용 스캐너(Scanner)·스텝퍼(Stepper) 시장이 호조를 보이고 있다.반도체용은 디바이스 생산기업의 설비투자가 활발해 수요 증가가 예상되고 있다. 실제로 액침기 수요와 i선 및 KrF(불화크립톤) 수요가 감소한 반면, LCD 제조용은 세트 생산기업들의 대형기판 대응투자로 제7·제8세대(G7·G8)가 지속적으로 신장하고 있다. 다만, 기판 사이즈용 장치 투자는 주춤하고 있다. 반도체용 스캐너·스텝퍼 메이저인 네덜란드 ASML은 2006년 상반기에 중고제품을 포함한 총 판매량이 1203대로 전년대비 12% 증가했다. 표, 그래프 | 반도체용 스캐너·스텝퍼 판매실적(2006) | 액정패널 제조용 스캐너 판매실적(2006) | <화학저널 2007/8/13> |
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