일본, NF3 생산능력 확대 가속화
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Mitsui, 태양전지용 신규수요 급증 … 2008년까지 생산능력 80% 확장 Mitsui Chemicals가 반도체ㆍ액정 제조용 특수가스인 3불화질소(NF3)의 생산능력을 대폭 증설할 방침이다.2007년 8월 신규 400톤 플랜트의 가동을 시작으로 2008년 10월까지 700톤 플랜트를 추가 증설함으로써 현재의 1300톤에서 2400톤으로 생산능력을 80% 이상 확대할 방침이다. 3불화질소가 기존의 반도체ㆍ액정용 외에도 태양전지용 수요가 급증하고 있기 때문으로 판단된다. Mitsui Chemicals은 3불화질소 메이저로 세계시장 점유율이 28%에 달하고 있고, Yamaguchi의 Shimonoseki Mitsui Chemical과 미국 Anderson Development(ADC)에서 생산을 담당하고 있다. 주력거점인 Shimonoseki의 생산능력은 기존 설비에 대한 디보틀네킹 작업 및 증설로 인해 2005년에 비해 350톤 증가한 1100톤으로 나타났다. 여기에 2007년 8월 400톤 설비를 가동함으로써 생산능력을 1500톤 수준으로 끌어올릴 계획이며 ADC도 200톤의 생산능력을 갖추고 있다. Mitsui Chemicals은 600-800톤의 차기 증설계획을 검토해왔는데 Shimonoseki의 증강이 순조롭게 진행됨에 따라 증설 폭을 700톤으로 결정했다. 입지로는 일본의 신거점 및 한국, 타이완 등이 후보로 거론되고 있으며 조만간 확실시될 예정이다. 3불화질소 제조공정은 2단합성법이 주류를 이루는 가운데 Mitsui Chemicals은 독자기술인 전해1단법을 채용해 생산하고 있다. 전해1단법은 불화질소(HF)와 암모니아(NH3)를 원료로 하며 불소(F2)를 거치지 않고 직접 합성할 수 있기 때문에 설비의 컴팩트화가 가능하고, 가동시기를 단축함으로써 생산 확대에 무리가 없으며, 정제공정을 단축함으로써 생산 코스트를 절약하는 등 코스트 경쟁력이 우수한 것으로 평가되고 있다. 3불화질소는 주로 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition) 설비의 클리닝 가스로 사용돼 반도체, 액정용 외에도 최근에는 태양전지용으로 채용을 확장하고 있다. Mitsui Chemicals은 세계 시장규모가 2006년 4360톤에서 2007년에는 30%, 2008년에도 20% 안팎으로 고신장할 것으로 예상하고 있다. Kanto Denka Kogyo도 생산능력을 1200톤에서 2008년 6월까지 2150톤으로 확대할 방침이다. 한국에서도 신규참여 움직임이 나타나고 있어 경쟁이 한층 심화될 것으로 전망된다. <화학저널 2007/08/28> |
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