국내 특수가스(Specialty Gas) 시장은 글로벌 금융위기로 침체를 겪었던 반도체, LCD(Liquid Crystal Display) 등 전방산업이 2010년부터 호황을 이어가면서 제2의 전성기를 맞고있다.
반도체 웨이퍼와 LCD 패널 사이즈가 대형화되면서 특수가스 사용량이 크게 늘어나고 있고, 태양전지 또한 주요 수요처로 급부상하고 있어 2011년에도 호황이 계속될 것으로 예상된다.
특수가스는 반도체, LCD, LED(Light Emitting Diode), 태양전지의 제조과정에 쓰이는 산업용 가스로 30-40여종에 이르며 대표적으로 NF3, SiH4, NH3 등이 있다.
NF3(삼불화질소)는 반도체, TFT(Thin Film Transistor)-LCD, 태양전지의 제조나 CVD(화학기상증착) 공정 후 챔버 내부의 잔류물을 제거하기 위해 사용되고 있다.
SiH4(모노실란)는 반도체 웨이퍼의 실리콘 증착과 TFT-LCD 유리기판의 실리콘 증착, 박막형 태양전지의 실리콘 박막 형성에, NH3(고순도 암모니아)는 반도체ㆍLCDㆍLED 제조공정에서 질화막이나 GaN(질화갈륨) 막질 형성에 쓰이고 있다.
특수가스는 2000년까지 대부분 수입에 의존했지만 OCI머티리얼즈가 NF3 국산화에 성공한 것을 계기로 다수가 생산에 참여하면서 시장이 확대되고 있다.