2026년 01월 08일 (목)
현대전자, 4GD램 감광제 양산기술 개발

  현대전자가 4기가D램 제조용 감광제인 ArF(아르곤 플로라이드) 양산기술화에 성공했다.
  이 감광제는 최소 회로선폭 0.10㎛(1㎛은 1/100만m)까지 형성할 수 있으며, 향후 256메가D램 생산기술에 적용하면 웨이퍼당 생산개수를 대폭 늘릴 수 있어 제조원가를 최대한 낮출 수 있다.
  2000년 2000억원 정도의 수입대체 효과를 기대하고 있다.
  <화학저널 1998/12/21.28>
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