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국내 시장 440억원 … 연평균 30% 성장 센서(Sensor)는 검지대상의 물리량이나 화학량을 선택적으로 포착하여 유용한 신호로 변환, 출력하는 장치를 말한다. 가스센서는 기체(또는 액체)중에 함유된 특정 성분가스를 적당한 전기적 신호로 감지 또는 정량화하는 소자다. 지금부터 약 25년전 ZnO와 SnO2 등의 산화물반도체를 이용한 가스센서를 처음 발표한 이래, 활발한 연구개발을 통하여 LP가스와 도시가스의 가스누수측정기로 실용 보급된 것이 가스센서 제작의 처음 결실이다. 그후 자동차 공연비제어용과 금속제련용 고체전해질 산소센서가 등장하고 공조용기기, 살림 등에 실용화되었다. 종 류 반도체형 가스센서(Semiconductor Gas Sensor) : 이 센서는 산화물반도체 표면에 흡착된 피검가스의 전자공여성 또는 전자수용성에 따른 반도체 도전율변화를 이용한 것으로 소자재료는 SnO2계, Fe2O3계, TiO2계 등이 있다. SnO2계는 표면제어형이고. Fe2O3계는 표면과 벌크현상을 동시에 이용하여 산소센서로 많이 이용되고, TiO2계는 벌크현상을 이용하고 있다. 표, 그래프 : | 센서소자 종류와 검출용센서 | 국내 센서시장 현황 | 중요한 가스센서 분류 | <화학경제 1994/1/1> |
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