화학뉴스

Morita Chemical이 중국에서 반도체용 고순도 약액 생산을 시작한다.
Jinhua 소재 합작기업에서 생산하는 무수불산(Anhydrous Hydrofluoric Acid)을 원료로 반도체 제조 프로세스 세정 및 에칭에 사용되는 고순도 불산 및 BHF(Buffered Hydrogen Fluoride)를 제조할 계획이다.
초기 투자액은 30억엔 이상을 예상하고 있으며 2019년 가을 상업생산을 목표로 하고 있다.
Zhejiang Morita New Materials은 불산 2만톤 공장 인근에 고순도 약액 공장을 신설하고 있다.
신규 공장에서는 불산을 불순물 PPT 수준까지 정제해 초순수와 섞어 49-50%의 전자 그레이드 고순도 불산을 생산한 후 불화암모늄(Ammouium Fluoride)과 혼합해 고순도 BHF를 생산할 계획이다.
불산 정제증류설비 및 초순수, 암모니아가스, BHF 제조설비, 평가설비 등을 건설하고 있으며 2019년 6월 완공한 이후 수요처 인증시험 등을 거쳐 2019년 가을 상업생산을 시작하겠다는 목표를 세우고 있다.
고순도 불산 및 BHF 생산능력은 각각 2만톤이나 수급에 따라 증설을 실시하고 장기적으로는 불화물 뿐만 아니라 다른 반도체 약액으로 라인업을 확대할 방침이다.
고순도 불산은 반도체 세정용, BHF는 절연막 에칭용 등으로 사용되고 있다.
특히, 3D 낸드 플래시는 건식 에칭이 주류를 이루었으나 잔사 발생 문제로 최근에는 습식 에칭 수요가 신장해 BHF에 대한 문의가 증가하고 있는 것으로 알려졌다.
Zhejiang Morita New Materials은 불산 생산물량을 모두 일본 Kanzakigawa 및 Sakai 공장에 공급했으나 앞으로는 50%만 일본에 공급하고 나머지는 중국에서 사용할 계획이다.
중국에서 부족한 불산은 모회사인 Zhejiang Sanmei Chemical에서 조달할 것으로 알려지고 있다.
일본에서는 반도체용을 시작으로 알루미늄 납땜용 플럭스, 광학렌즈용 불소화합물용 등으로 불산 수요가 신장하고 있는 것으로 파악되고 있다.