화학뉴스

일본 정부가 최근 SK하이닉스와 삼성전자가 수입하기로 한 불화수소 수출을 허가한 것으로 확인됐다.
유명희 통상교섭본부장은 10월2일 국회 산업통상자원중소벤처기업위원회 국정감사에서 일본의 반도체·디스플레이용 3개 화학소재의 한국 수출허가 승인건수가 총 7건이라고 밝혔다.
산업통상자원부는 10월1일 불화수소(에칭가스) 1건, 불소계 폴리이미드(Polyimide) 1건, 그리고 포토레지스트(Photoresist) 3건 등 5건이 수출허가를 받았다고 밝힌 바 있다. 9월30일 수출이 승인된 에칭가스 2건이 추가로 확인된 것이다.
수출이 승인된 기체 불화수소 2건은 각각 SK하이닉스, 삼성전자가 수입하는 것으로 확인됐다.
SK하이닉스 관계자는 “9월 말 일본이 반도체 공정에 사용하는 소재인 초고순도 기체 불화수소 수출을 허가했다”며 “아직 한국에 들어오지는 않은 상태”라고 밝혔다.
기체 불화수소는 8월 말 처음 수출을 허가한 있으며 삼성전자가 수입했다.
일본이 7월4일 불화수소를 포함한 3개 화학소재의 수출을 규제한 이후 약 3개월 만에 불화수소만 총 3건 수출을 허가한 것이다.
SK하이닉스는 액체 불화수소를 아직 한건도 수입하지 못해 “10월1일 일부 생산라인에 국산을 투입하고 있다”고 밝혔다. 9월 초 LG디스플레이, 삼성전자 등이 고순도 불화수소 일부를 국산으로 대체한데 이어 국산화가 진척되고 있다.
삼성디스플레이도 최근 국산 액체 불화수소 테스트를 완료했으며, 조만간 생산라인에 투입할 예정인 것으로 알려졌다. LG디스플레이는 10월 액체 불화수소 100% 국산화를 앞두고 있다.
산업통상자원부는 반도체용 액체 불화수소가 신청 후 90일이 되도록 단 1건의 허가도 나지 않았다고 밝힌 바 있다.