SK머티리얼즈(대표 장용호)가 반도체 세정제용 불화수소 공장 완공을 앞두고 있다.
SK머티리얼즈는 11월 경북 영주 본사 부지에 불화수소 공장을 준공하고 정부 인허가까지 완료할 계획이라고 밝혔다.
이르면 연말부터 샘플을 생산해 수요기업을 대상으로 테스트를 진행한 뒤 2020년 상반기 본격적으로 생산에 나설 방침이다.
지난 7월25일 일본 수출규제에 영향을 받아 국산화 개발에 착수한 지 4개월만에 준공하는 것으로, 기존 주력제품인 삼불화질소(NF3)와 육불화텅스텐(WF6) 등 특수가스 관련 노하우 및 기술력 덕분에 가능했다는 평가를 받고 있다.
삼불화질소를 중국에서 수입한 저순도 불화수소에 암모니아(Ammonia)를 반응시켜 제조하기 때문에 불화수소 취급 노하우를 갖추고 있어 고순도제품 생산공정을 빠르게 제작할 수 있던 것으로 파악된다.
또 정부가 신규허가물질 허가 처리기간을 기존 75일에서 30일로 단축 지원한 것도 도움이 됐다.
일본 정부는 7월4일 반도체 핵심소재로 사용되는 불소(Fluorine)계 폴리이미드(Polyimide), 레지스트, 불화수소(에칭가스) 등 3개 품목에 대한 한국 수출규제를 발표했다.
불화수소는 2018년 수입액이 1억5951만달러였고 일본산 수입액은 6686만달러로 42%에 달했다.
저순도제품은 중국산이 절반 이상을 차지하고 있지만 반도체 등 고순도제품 투입이 필수적인 분야에서는 일본산에 대한 의존도가 높았다.
SK머티리얼즈가 생산할 불화수소는 일본산과 동일한 99.999% 고순도이기 때문에 대체가 충분할 것으로 예상되고 있다. (K)