화학뉴스

반도체 세정제가 빠른 속도로 고도화되고 있다.
반도체는 EUV(극자외선) 리소그래피 기술을 통한 패턴 미세화가 진행되면서 기존 세정제로는 대응할 수 없는 영역이 확대되고 있으며 세정제에도 극소 파티클을 제거하거나 선택적으로 특정물질만 녹이는 등 고도화‧고기능화가 요구되고 있다.
그러나 극세 패턴에 악영향을 미치지 않도록 고온 프로세스나 강산‧강알칼리를 사용하지 않아야 하는 등 제약이 많아 세정제 생산기업들의 기술이 경쟁력을 좌우하고 있다.
최근에는 신규기업들도 진출하고 있으며 급성장하는 시장을 두고 신제품 개발이 더욱 치열해지고 있다.
JSR은 미국 오리건에 최첨단 반도체용 기능성 세정제 공장을 건설하고 2021년 출하를 시작했으며 오리건 공장을 기능성 세정제 사업의 글로벌 생산기지로 설정하고 있다.
일본, 한국, 중국에서 고순도 황산과 암모니아수 등 벌크제품을 생산하고 있는 스미토모케미칼(Sumitomo Chemical)은 한국 자회사 동우화인켐을 통해 기능성 케미칼 개발을 추진하고 있다.
EUV 프로세스에서 요구되는 특수기능을 부여한 웨트케미칼을 투입해 벌크제품처럼 글로벌 시장에 공급하는 것을 목표로 하고 있다.
고기능 세정제 시장은 추가적인 미세화와 신소재 도입, 기기 구조 변화 등으로 앞으로도 더 성장할 것으로 전망되며 신규 진출을 선언한 다이셀(Daicel)을 포함해 앞으로 생산기업 수는 더욱 늘어나고 기술 경쟁은 한층 치열해질 것으로 예상되고 있다.
일본은 포토레지스트처럼 고기능 세정제 시장에서도 일본기업들이 압도적인 점유율을 확보할 수 있을 것으로 기대하고 있다.