화학뉴스

도요고세이(Toyo Gosei)가 전자소재 그레이드용 고순도 용제 리사이클을 확대한다.
다운사이클에 대비하고 있는 일본 반도체 공장에 수평적 리사이클을 제안하고 첨단 반도체용 고순도 용제 재이용을 촉진하고 있는 것으로 알려졌다.
2022년에는 아와지(Awaji) 공장에서 반도체용 고순도 용제 증류탑을 증설함으로서 리사이클량을 늘릴 수 있는 체제를 정비한 바 있다.
일본 반도체 생산기업들이 신증설 투자 계획을 잇달아 발표함에 따라 신규 공장을 대상으로 한 리사이클 수요 확보에 나서고 중기경영계획 실행 마지막 해인 2026년까지 리사이클량을 기존 대비 2배 확대하는 것을 목표로 설정하고 있다.
도요고세이는 감광재, 레지스트 폴리머, 고순도 용제 등 포토레지스트 원료를 취급하고 있으며 모두 고순도에 고품질로 공급할 수 있다는 강점을 살려 EUV(극자외선) 영역에서 높은 시장점유율을 확보하고 있다.
고순도 용제는 포토레지스트 외에 다층 소재나 반사방지막 및 EUV 하층막 등 첨단영역 리소그래피 소재로도 사용되고 있다.
리사이클은 증류탑을 보유한 아와지 공장과 이치카와(Ichikawa) 공장에서 실시하며 수평적 리사이클은 2015년부터 시작해 취급량을 늘리고 있다.
이전에는 다운사이클이 주류로 전자소재 그레이드용으로 사용한 고순도 용제도 인쇄‧페인트용으로 재이용하는 사례가 대부분이었던 것으로 알려졌다.
리사이클은 판매처인 반도체 공장으로부터 폐액을 회수해 수지 등 고체 성분을 제거한 액체를 증류탑에서 정제하는 과정으로 진행하고 있다.
중합 혹은 분해를 거쳐 열화된 용제는 끓는점이 변하기 때문에 원하는 증류 온도에서 정제 시 제거하는 것이 가능해 신제품과 동일한 사양을 보유한 용제만을 추출할 수 있는 것으로 파악된다.
도요고세이는 증류 등 높은 분리기술을 보유하고 있으며 리사이클 분야에서도 고순도 용제 시장을 리드하는 것을 목표로 하고 있다.
A사에게 판매한 고순도 용제를 A사로부터 회수한 후 재정제한 고순도 용제를 또다시 A사에게 판매하는 등 공장별로 다른 리사이클 체제를 확립한 것도 강점이다.
최첨단 소재가 대상이기 때문에 공장별 거래를 통해 리사이클 체인 안정화를 실현한 것으로 평가되며 반도체용 뿐만 아니라 배터리, 의약품‧농약용 고순도 용제도 수평적 리사이클을 진행하고 있다.
앞으로는 반도체 공장에서 리사이클량을 늘리는 한편, 다운사이클에 머무르고 있는 공장에 수평적 리사이클을 제안할 계획이다.
아와지 공장에 신규 증류탑을 건설해 신제품과 리사이클제품 모두 생산능력을 확대했으며 본공장인 이치카와 공장은 리사이클 관련 R&D(연구개발)를 강화하며 분리기술을 개선하고 있다.
일본은 파운드리와 메모리 생산기업들이 반도체 신증설 프로젝트를 잇달아 발표하고 있다.
도요고세이는 신증설 설비에서 창출될 수요에 맞추어 신규 생산 고순도 용제가 요구되는 최첨단 영역에는 신제품을 공급하지만 리사이클제품을 고도화해 환경부하를 낮추는 작업도 본격화할 방침이다. (K)