화학뉴스

일본 간토덴카(Kanto Denka)가 반도체 특수가스를 개발했다.
에칭(Etching) 프로세스에서 지구온난화 계수(GWP)를 저감할 수 있는 실제 설비를 활용한 검증에서 높은 평가를 받았고 2023회계연도(2023년 4월-2024년 3월)에 상업화해 2024회계연도 매출 50억엔을 달성할 계획이다.
한국, 일본, 중국에서 추진하고 있는 기존제품 생산능력 확대는 2023년 말 완료하는 것을 목표로 하고 있다.
간토덴카는 신제품과 함께 반도체용 특수가스의 판매를 확대하고 각국의 니즈에 따라 안정적인 공급체제를 확립할 방침이다.
경영계획 Dominate1000에서는 2024회계연도 매출 1000억엔 달성이 목표로 2023회계연도에 200억엔을 더 늘려야 하지만 반도체용 특수가스 기존제품과 신규 GWP 저감제품, 2023년 가을에 증설 투자가 완료되는 배터리 소재 판매 확대 목표를 달성할 방침이다.
기존제품은 일본 미즈시마(Mizushima) 공장에서 육불화부타디엔(C4F6)을 400톤으로 50% 이상 확대하기 위한 투자를 완료해 출하를 개시했고 황화카르보닐(COS)은 한국공장 증설을 마쳐 가동을 시작한 것으로 알려졌다. 2023회계연도부터는 군마(Gunma) 시부카와(Shibukawa) 공장과 함께 150톤으로 2배 확대할 계획이다.
2가지 가스 모두 에칭 프로세스로 사용돼 반도체 미세화 진행에 따른 수요 증가가 기대되기 때문에 추가 투자를 검토할 계획이다.
중국 안휘성(Anhui) 소재 합작기업이 제1기 건설하고 있는 불소가스 원료 불화암모늄(Ammonium Fluoride) 라인은 2023년 3월 완공했고 제2기 공사의 육불화텅스텐(WF6)이나 육불화부타디엔 생산라인은 2023년 말 완공 예정이다.
GWP 저감 신제품은 메모리용이며 원료나 프로세스 등 생산제품 구성 전체를 계량한 것이 특징이다.
미즈시마 공장에 설치한 테스트 플랜트에서 생산을 진행하나 미래 수주를 고려해 상업생산설비 건설을 검토하고 있으며 동시에 일본의 연구개발(R&D) 기능을 확충하고 신제품 창출을 가속화할 방침이다. (L)