화학뉴스

미국에서 반도체 제조장치 세정 수요가 급증하고 있다.
미츠비시케미칼(MCC: Mitsubishi Chemical) 그룹은 자회사 클린파트(Cleanpart)를 통해 미국 서부 애리조나와 중서부 텍사스 공장을 2024년 중반까지 증설하고 있으며 세정능력을 약 2배 확대해 현지 반도체 제조장치 부품 정밀세정 서비스 체제를 확충할 계획이다.
미국이 경제안보와 중국과의 무역마찰에서 시작된 국산화 정책에 따라 반도체 관련 대규모 설비투자를 다수 진행하고 있어 부품 정밀세정 수요가 가파르게 증가할 것으로 기대하고 있다.
미츠비시케미칼 그룹은 세계 최대 반도체 관련 정밀세정 서비스 보유기업으로 유럽과 미국에서는 독일 자회사 클린파트를 통해 사업을 영위하고 있다.
클린파트는 실리콘(Silicone) 웨이퍼 위에 막을 형성하는 성막장치 부품 정밀세정에 특화돼 있으며 미국에서는 애리조나, 텍사스, 캘리포니아, 매사추세츠 등 4곳에서 공장을 가동하고 있다.
애리조나 피닉스(Phoenix) 공장은 2022년 9월까지 주요 설비 증설을 마쳤으며 현재 추가 증설 공사를 진행하고 있어 2023년 중반경 본격적인 가동에 나설 계획이다.
텍사스 리처드슨(Richardson) 공장은 2024년 중반까지 증설 공사를 마칠 예정이다.
일련의 증설 공사가 종료되면 애리조나 공장은 세정능력이 90%, 텍사스 공장은 약 2배 확대될 것으로 예상되고 있다.
이밖에 부품에 내열성 등 기능을 부여하는 특수 코팅 서비스 체제 확충도 준비하고 있는 것으로 알려졌다.
미국은 반도체 생산 및 연구에 5년 동안 527억달러(약 69조원)를 투자하는 반도체 보조금법(CHIPS)을 2022년 8월 통과시킴에 따라 애리조나와 텍사스를 중심으로 TSMC, 삼성전자 등 반도체 메이저들의 설비투자가 잇달아 진행되고 있으며 부품 정밀세정 수요가 급증할 것으로 기대된다.
클린파트는 텍사스 공장에서 현재 진행하고 있는 증설 투자를 마치면 여유 부지가 없기 때문에 2023년 6월 인근 부지 취득에 나설 계획이며 텍사스 외의 다른 공장을 증설하거나 신규 공장을 건설함으로써 앞으로 증가가 기대되는 정밀세정 수요를 충족시키는 방안을 검토하고 있다.
클린파트는 세계 주요국들이 앞다투어 반도체 공장 유치에 나서며 정밀세정 수요가 세계적으로 급증하고 있는 가운데 독일 드레스덴(Dresden) 본사 공장의 세정능력도 확대하고 있으며 아시아 사업체제를 확충함으로써 글로벌 1위 지위를 확고히 다질 방침이다. (K)