화학뉴스

반도체용 가스 시장은 반도체 시장 침체에도 불구하고 장기적으로 성장할 것으로 예상된다.
2022년 반도체 시장이 코로나19(신종 코로나바이러스 감염증) 특수 반동으로 컴퓨터와 스마트폰 생산이 둔화됨에 따라 부진한 1년을 보냈음에도 불구하고 미래에 대비하기 위한 투자를 유지하고 있다.
일본 산업·의료가스협회에 따르면, 고순도 가스, 반도체용 가스, 표준가스 등 3종으로 구분되는 특수가스 가운데 반도체용 가스 내수 판매량은 2022년 약 1만160톤으로 1만톤을 넘어섰다.
수요가 감소한 품종도 있으나 전체적으로 호조였으며 앞으로 크게 성장할 것으로 예상된다.
20종 가운데 수요가 1000톤 이상인 특수가스는 4종이며 고순도 암모니아(Ammonia) 가스는 2022년 판매량이 2046톤으로 전년대비 56.5% 급감했다.
다만, 급감했음에도 불구하고 삼불화질소에 이어 2번째로 많이 판매돼 여전히 큰 비중을 차지했다.
암모니아는 LED(Light Emitting Diode)와 함께 LC((Liquid Crystal) 패널 등의 제조공정에서 에피택셜막 성형 가스로 사용되고 있다.
주로 LC 패널 세정에 투입되는 삼불화질소(NF3)는 2352톤으로 12.7% 감소했으나 암모니아를 제치고 최대 판매량을 기록했으며, 화학적 기상증착(CVD) 프로세스에서 절연산화막 형성을 위해 사용되는 일산화질소는 1689톤으로 3.9% 증가해 성장을 이어갔다.
보호막·절연막 공정 등에 활용되고 있는 TEOS(Tetraethyl Orthosilicate)는 1108톤으로 6.8% 증가해 1000톤 고지를 돌파한 것으로 나타났고, 반도체 표면에 붕소를 도핑하는 목적으로 사용되는 디보란(Diborane)은 최근 몇년 동안 판매량이 크게 늘었으며 2톤으로 117.4% 폭증했다.
반도체 메모리용 에칭가스인 팔불화시클로부탄(C4F8)은 407톤으로 21.4%, 절연가스와 플라즈마 에칭제 등으로 사용되는 육불화에탄(C2F6)은 약 180톤으로 28.6%로 급증했다. (윤)