화학뉴스

SK실트론(대표 이용욱)이 국산 반도체용 초순수를 본격 채용할 것으로 예상된다.
초순수는 불순물을 완전히 제거한 순수한 물로 반도체 공정에 필수적이나 국내에서는 웨이퍼를 처음 생산한 1983년 이후 41년 동안 주로 일본산을 수입해 사용한 것으로 파악된다.
환경부는 2023년 11월 SK실트론 구미2공장에 설치한 반도체용 초순수 실증 플랜트에서 설계·시공·장비를 모두 국산화한 2단계 건설이 완료됐으며 설비 공정률은 약 85% 정도 수준이라고 밝혔다.
시장에서는 2024년 8월경 초순수 테스트가 마무리된 후 웨이퍼 생산에 본격적으로 적용될 것이라는 관측이 제기되고 있다.
한성크린텍은 정부가 2021년 6월 초순수 국산화를 국책과제로 선정한 이후 7월부터 국산화 플랜트 기술개발에 참여했으며 2023년에는 일본기업과 경쟁해 SK실트론으로부터 대용량 초순수 제조설비의 EPC(설계·조달·시공)를 맡아 총 836억을 수주한 바 있다.
정부는 초순수 국산화 연구과제가 종료되면 SK실트론에게 1·2단계 실증 플랜트의 소유권을 이전한 후 추가 연구에 착수해 더 많은 국내기업에게 초순수 국산화 기회를 제공할 방침이다.
한화진 환경부 장관은 “다른 반도체 기술처럼 초순수 역시 초격차 확보가 중요한 소재인 만큼 2024년 안에 전문인력 양성 및 연구·개발(R&D)을 위한 지원책을 발표할 것”이라고 강조했다. (김진희 기자)