일본 Daikin Finetech이 반도체 소재 시장에서 불소수지 가공제품 사업을 확대하고 있다.
Daikin Finetech은 다이킨(Daikin)이 생산하는 불소 원료로 불소수지 가공제품을 제조하고 있으며, 특히 CNT(Carbon Nano Tube)를 독자적으로 컴파운드한 도전성 불소수지 TRC 시리즈가 앞으로 반도체 제조장치부품 시장에서 채용이 확대될 것으로 판단하고 제안 활동을 강화할 방침이다.
TRC 시리즈는 우수한 부피저항률과 낮은 금속함유량이 특징이며 금속계 17원소 용출량이 0.05ppb 이하로 고청정도가 요구되는 반도체 제조장치, 약액 공급용 소재로 적용할 수 있으며 노즐 및 배관에 적용하면 대전을 10분의 1로 억제할 수 있다.
Daikin Finetech은 앞으로 TRC 시리즈를 노즐과 조인트, 개스킷(Gasket) 등 반도체 제조장치 부품용 뿐만 아니라 케미칼 플랜트 배관 부품용으로도 솔루션을 확대할 계획이다.
아울러 불소수지 코팅 Ulsheed 용도개척에도 속도를 낼 방침이다.
PCTFE(Polychlorotrifluoroethylene)로 제조한 Ulsheed는 내구성이 기존 불소 코팅제품 대비 2-10배 이상 우수하며 금속계 32원소 용출량 0.01ppb 이하를 구현했다.
Daikin Finetech은 Ulsheed가 높은 내구성과 낮은 금속용출성을 무기로 웨이퍼 반송부품용 채용 뿐만 아니라 앞으로 매엽 세정 스피너 부품 및 배기가스·폐액 배관 분야에서 채용실적을 확보할 수 있을 것으로 판단하고 시장 개척을 추진할 방침이다. (윤)