JSR은 2024년 미국에서 금속 레지스트 양산을 시작할 계획이다.
금속 레지스트는 반도체 최첨단 프로세스에서 사용하는 소재이며 수요가 증가함에 따라 시험생산부터 상업생산으로 이행할 예정이다.
JSR은 EUV(극자외선) 화학증폭형 레지스트와 금속 레지스트 사업을 영위하고 있다. 기존 화학증폭형 EUV 레지스트 시장에서 높은 점유율을 장악하고 있으며 앞으로 차세대 금속 레지스트도 공급도 본격화해 최첨단영역을 선도할 방침이다.
JSR은 화학증폭형 레지스트를 요카이치(Yokkaichi)와 벨기에 공장 2곳에서 생산하고 있으며 2023년 요카이치 공장에서 EUV 레지스트 포함 첨단 리소그래피 소재 증설을 마치고 안정공급 체제를 확립했다.
금속 레지스트는 계열사인 미국 인프리아(Inpria) 공장에서 생산하고 있으며 로직·DRAM에 모두 적용하는 방안을 검토하고 있는 것으로 알려졌다.
수요에 대응하기 위해 생산능력도 확대할 계획이며 생산능력 등 세부적인 사항은 알려지지 않았으나 2024년 상업생산을 시작할 예정이다. 추가적인 수요 증가에 대비한 No.2 공장 건설도 검토하고 있으며 후보지는 BCP(사업계속계획)를 고려해 미국 이외 지역을 유력하게 검토하고 있다.
금속 레지스트는 기존 화학증폭형 레지스트 대비 고감도이면서 고해상도를 구현할 수 있어 새로운 로직 반도체 구조인 GAA(Gate All Around) 등에 적용될 것으로 예상되며, 코스트 경쟁력 측면에서 DRAM 적용도 고려하고 있다.
JSR은 화학증폭형 레지스트로 2회 패터닝하는 기존 방식에 비해 금속 레지스트로 1회 패터닝하는 방법이 코스트다운에 기여할 것으로 판단하고 있으며 차세대 EUV 노광기가 등장하면 금속 레지스트 수요가 탄력을 받을 것으로 기대하고 있다.
네덜란드 ASML이 고개구도(NA) EUV 노광기를 2025-2026년에 출시할 계획이며 2나노미터 이하 최첨단 프로세스를 중심으로 차세대 노광기와 금속 레지스트가 세트로 사용될 것으로 예상된다. (윤)