화학뉴스

EUV(Ultra Violet) 노광장비 수요가 증가하고 있다.
네덜란드 ASML은 2023년 4분기(10-12월) 수주액 92억유로(약 13조3226억원) 가운데 EUV 노광장비가 56억유로(약 8조1102억원)로 51.4%를 차지한 것으로 알려졌다.
ASML은 2023년 매출이 276억유로로 전년대비 약 30%, 순이익은 78억유로로 약 40% 급증했고 수주잔고는 390억유로에 달했다. 반도체 노광장비 판매는 449대로 100대 이상 증가했다. EUV 노광장비는 53대로 10대 이상 늘었다. 매출 비중은 46%에서 42%로 소폭 감소한 것으로 나타났다. 
미국의 규제에도 불구하고 중국 수출이 차지하는 비중은 2022년 14%에서 2023년에는 29%로 급상승했다. 
ASML은 최근 1나노대 차세대 프로세스용 High-NA(Numerical Aperture) EUV 장비 EXE : 5000 초도물량을 초미세공정 시장에서 삼성전자와 TSMC(Taiwan Semiconductor Manufacturing)에 기술 경쟁에서 뒤처진 미국 인텔(Intel)에 공급한 것으로 알려졌다.
레거시용 장비를 공급하는 일본기업들의 영업실적도 반도체 시장 회복에 힘입어 호조를 나타냈다.
캐논(Canon)은 2024년 노광장비 판매 증가에 힘입어 4년 연속 매출이 증가한 것으로 추정된다. 캐논은 불화크립톤(KrF)와 파장 365나노미터 i선 노광장비를 파워반도체, 레거시 반도체, 센서 생산용 공급을 확대하고 있다.
반면, FPD(Flat Panel Display) 노광장비는 패널 생산기업들의 투자 감소로 판매대수가 감소했으나 2024년에는 태블릿용을 중심으로 회복할 것으로 기대하고 있다.
니콘(Nikon)은 불화아르곤(ArF) 액침 노광장비 매출이 증가했다. 
전체 노광장비는 중고·신제품을 포함하면 감소한 것으로 추정되나 고가인 ArF 액침 노광장비는 4대에서 11대로 대폭 증가한 것으로 알려졌다. 다만, 캐논과 마찬가지로 FPD 노광장비 판매는 대폭 감소했다.
레지스트를 비롯한 고순도 약액 수요를 좌우하는 노광장비 시장이 호조를 나타냄에 따라 관련 산업계는 2025년 이후 회복에 대한 기대감이 고조되고 있다. (윤)