포토레지스트 소재 생산기업들이 반도체 시장 회복에 대응해 투자를 확대하고 있다.
반도체 포토레지스트 시장점유율 80-90%를 장악한 일본이 다운스트림 영역에서도 경쟁을 벌이고 있다.
포토레지스트 소재 시장이 연평균 7% 성장할 것으로 기대되는 가운데 일본기업들은 포트폴리오 확충 및 설비 투자에 나서 EUV(극자외선)용을 비롯한 첨단영역에서 사업을 확대하고 있다.,
후지필름(Fujifilm)은 포토레지스트 소재 사업 매출을 2026년까지 2023년 대비 70% 확대하기 위해 강점인 EUV용 광산발생제(PAG), 불화크립톤(KrF)용 레지스트 폴리머 공급을 확대하고 업스트림인 EUV용 레지스트 모노머, 중합개시제 등도 강화할 계획이다.
후지필름그룹은 Fujifilm Wako Pure Chemical이 레지스트 소재를 위탁생산하고 있을 뿐만 아니라 Fujifilm Electronic Materials(FFEM)을 통해 포토레지스트까지 생산하고 있어 소재 뿐만 아니라 레지스트에 대해서도 높은 이해도를 갖추고 있다.
또 첨단영역에서 고도의 분석·평가기술이 요구됨에 따라 FFEM이 지닌 분석기술과 평가장치 역시 강점으로 평가된다.
EUV용 PAG 1위인 도요고세이(Toyo Gosei)는 최근 치바(Chiba) 공장에 감광재 개발분석설비를 건설해 PAG 개발·분석능력을 강화했다. 7월에는 생산설비 증설을 마무리하고 첨단용 PAG 및 레지스트 폴리머 생산을 확대할 예정이다.
DIC는 2023년 캐나다 레지스트 폴리머 생산기업을 인수했으며 캐나다 공장과 기존 일본 호쿠리쿠(Hokuriku) 공장 증설을 통해 첨단영역 점유율을 끌어올릴 계획이다.
불화아르곤용 레지스트 모노머 1위인 오사카유기화학(OCC: Osaka Organic Chemical)은 2023년 가나자와(Kanazawa) 공장의 생산능력을 2021년 대비 60% 확대했으며 앞으로 EUV용 레지스트 모노머에도 주력할 계획이다.
아데카(ADEKA) 역시 2023년 치바공장에서 PAG 생산능력을 100% 증설을 마친 것으로 알려졌다. (윤)