화학뉴스

바커케미칼(Wacker Chemicals)이 고집적 메모리 칩 및 마이크로프로세서 제조에 필수적인 특수 소재인 실란(Silane) 전구체를 개발했다.
전구체는 박막증착을 위한 화학소재이며 전구체를 웨이퍼 아래에 두고 온도를 올리면 기체로 변하면서 바로 위의 웨이퍼로 올라가 증착이 이루어진다.
바커케미칼은 전구체 개발을 통해 특수 반도체 소재 포트폴리오를 한층 강화하게 됐다.
새로 개발된 실란은 반도체 제조공정의 화학기상증착(CVD) 단계에서 사용되며 웨이퍼 표면과 반응해 유전 상수가 낮은 초박막 절연층을 형성하는 것으로 알려졌다.
절연층은 촘촘히 배열된 연결 부품과 회로 간의 전자기 간섭을 차단해 오작동 우려 없이 안정적인 성능을 가진 고집적 마이크로칩의 제조