에어리퀴드(AL: Air Liquide)가 일본에서 반도체용 특수가스 생산을 추진한다.
글로벌 산업가스 메이저 에어리퀴드는 일본법인을 통해 구마모토(Kumamoto) 기쿠요마치(Kikuyomachi) 지역에 용지 3만5000평방미터를 취득했다. 
기쿠요마치 지역은 세계 최대 반도체 파운드리 TSMC(Taiwan Semiconductor Manufacturing)의 구마모토 공장과 소니(Sony) 자회사의 이미지 센서 공장 등이 있으며 인접 고시시(Koshi)에 걸쳐 반도체 제조장비를 생산하는 TEL(Tokyo Electron)을 비롯한 반도체 관련기업 사업장이 모여 있다.
에어리퀴드 일본법인은 2001년 구마모토 가스센터를 건설해 규슈(Kyushu) 지역 반도체 산업용으로 산소와 질소 등 산업가스를 공급하고 있다.
에어리퀴드는 2024년 말까지 TSMC No.1 공장 및 전력반도체 메이저 롬(Rohm)의 미야자키(Miyazaki) 공장이 가동을 예정함에 따라 산업 가스 수요가 증가하자 3월 초고순도 공기 분리장비를 2기 신규 도입해 생산능력을 400% 이상 확대했다.
뿐만 아니라 2027년 TSMC No.2 공장 가동 등 구마모토를 시작으로 규슈 역내 반도체 공장 신규 프로젝트가 잇따르고 있어 에어리퀴드 일본법인은 신규 취득한 용지에서 생산능력을 추가로 확대할 것으로 예상된다.
TSMC No.2 공장은 회로선폭 6나노미터 로직 칩을 포함 No.1 공장보다 미세한 첨단 반도체를 생산할 계획이며 에어리퀴드는 이미 타이완에서 첨단 반도체용 초고순도 산업가스를 공급하는 등 공급망에서 포지션을 확립한 것으로 파악된다.
에어리퀴드는 반도체 메이저 2곳과의 장기 공급계약을 기반으로 타이완에서 차세대 대규모 전자 그레이드 질소를 생산하는 신규공장 건설을 진행하고 있으며 최첨단 기술을 활용해 최대 20억노멀입방미터의 초고순도 질소와 산소, 아르곤(Argon)을 생산할 예정이다.
특히, 현지 재벌 FEG(Far Eastern Group)와의 합작법인 ALFE(Air Liquide Far Eastern) 신규공장은 에너지 효율이 우수한 차세대 대규모 전자 그레이드 질소 제조장비를 도입한 것으로 알려졌다. (윤)