제온(Zeon)이 COP(Cycloolefin Polymer)로 반도체 용기 공략에 나서 주목된다.
제온은 아웃가스 배출량이 적고 수율 향상에 기여하는 COP를 활용해 보다 청정한 특성이 요구되는 첨단 반도체 분야에 대한 공세를 강화하고 있다.
웨이퍼를 격납하는 용기와 회로 원판용 수요가 꾸준하며 기존의 의료 분야 용기 용도와 신제품 개발을 추진하고 있는 광학 용도까지 포함해 COP 사업 확대에 박차를 가할 예정이다.
반도체산업은 용기의 아웃가스 배출량이 적어야 하고 불순물 포함량은 많으면 안되기 때문에 일반적으로 PC(Polycarbonate)가 주력 용기 소재로 사용되고 있다.
그러나 회로 선폭이 좁고 미세한 반도체일수록 웨이퍼와 회로 원판에 이물질이 쉽게 부착되지 않는 고기능 수지가 필요하기 때문에 첨단반도체 분야에서는 COP가 주류를 이루고 있다.
소재에서 휘발성 성분이 방출되는 빈도를 다이나믹 헤드 스페이스법으로 측정한 결과 PC는 섭씨 100도, 30분에 0.15ppm이었으나 COP는 검출 한계 이하로 확인됐다.
또 COP는 약품에 대한 내성을 알아보기 위해 실리콘(Silicone) 웨이퍼상에 미립자를 제거하는 스탠다드 클리닝(SC) 1과 금속 불순물을 제거하는 SC2에 4시간 침전시킨 결과 중량 변화 및 변색이 없었다.
수분을 방출하지 않는 특성은 열탈리분광법으로 138도, 50분 조건에서 총 수탈리량을 비교한 결과 PC가 469ppm이었던 반면, 제온의 COP Zeonor 1420R은 35ppm, Zeonex 790R은 31ppm으로 파악돼 웨이퍼 수율 향상에 도움이 되는 것으로 평가되고 있다.
제온은 COP를 주로 반도체 공장에서 웨이퍼를 공정별 장치에 투입하는 FOUP 용기용으로 판매하고 있으며 웨이퍼 생산기업과 반도체 공장 간 수송에 사용하는 FOSB, 회로패턴 전사에 사용하는 회로 원판 용기로도 제안하며 일부 수요기업으로부터 평가를 받고 있다.
제온은 COP 관련 사업을 성장동력으로 설정하고 수지, 광학 필름, 생명과학 성형제품을 모두 합쳐 2030년 매출액 1000억엔을 달성하겠다는 목표를 세우고 있다.
현재 매출액의 절반 가량을 차지하는 수지 사업은 반도체 분야의 연평균 성장률이 12%, 필름 등 의료 용기용은 6%, 광학렌즈 용도는 7%대로 파악되고 있다.
중대형 렌즈는 글로벌 시장점유율 1위를 달리고 있으며 가상현실(VR) 글래스용 신규 그레이드도 잇달아 출시하고 있다.
소형 렌즈 용도는 앞으로 유리전이온도를 더 향상시킨 신제품을 출시하고 시장점유율 높이기에 박차를 가할 예정이다. (강)