화학저널

실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼 기술 개발이 본격화되고 있다.
가장 일반적인 승화법뿐만 아니라 대구경화에 강점이 있는 용액법도 상용화를 앞두고 있으며 추가적으로 고상법도 개발이 진행되고 있다. 
코스트다운에 기여하는 접합 SiC 웨이퍼도 주목받고 있다. 접합 SiC 웨이퍼는 다결정 SiC와 단결정 SiC를 접합해 코스트를 낮추는 기술로 차세대 전력 소자 분야에서 기대되고 있다.
SiC 웨이퍼는 일본기업들이 점유율을 장악하고 있는 실리콘