화학뉴스

일본 다이셀(Daicel)이 반도체 소재 사업을 전방위적으로 확대하고 있다.
레지스트 폴리머 사업에서는 불화아르곤(ArF)을 시작으로 EUV(극자외선) 영역에서도 공급을 시작했으며 앞으로 신규개발한 테스크톱 크기의 마이크로 플랜트를 적용해 차별화할 방침이다. 
가마 내부의 열과 압력에 균일하지 못한 기존 배치 방식보다 고순도화가 용이한 점이 메리트이며 먼저 ArF 분야에서 노하우를 축적하고 EUV 분야에 적용할 계획인 것으로 알려졌다. 
레지스트 용제 사업은 일본기업 가운데 유일하게 PGMEA(Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)를 일관 생산하고 있으며 시장 점유율도 높은 편이다.
첨단 반도체 니즈에 맞추어 고순도화를 높