한국도카이카본, "CVD-SiC" 제품 국산화 착수
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반도체 소재기업인 한국도카이카본(대표 권봉수)은 "CVD-SiC(화학기상증착장비-실리콘카바이드)" 제품의 국산화에 나선다고 8월27일 밝혔다. 현재 수입에 의존하고 있는 CVD-SiC 제품은 화학약품과 고온에 강하고 마모성이 적은 반도체 제조공정용 오염방지 청정소재로, 반도체 제조장치의 청정도 요구가 점차 높아지고 있어 수요가 크게 늘어날 것으로 예상되고 있다. 한국도카이카본은 국산화를 위해 일본 도카이카본으로부터 설비를 도입하고 2002년 양산을 목표로 경기도 안성공장에 설비공사를 하고 있다. 2002년부터 생산이 시작되면 연간 50억원 이상의 수입대체 효과가 기대된다. 한편, 한국도카이카본은 한국의 반도체 장비기업인 케이씨텍과 일본의 카본생산기업인 도카이카본이 1996년 설립했다. (031)677-0277 <Chemical Daily News 2001/08/28> |
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