미세기술로 전압제어 발진기 개발!
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KAIST, MEMS 이용해 기존 공정과도 호환 가능 … 집적도 크게 향상 한국과학기술원 전자전산학과 3차원 미세구조체 연구실(연구책임자 윤의식 교수)에서 CMOS 회로 위에 고성능 MEMS 인덕터를 집적화한 5GHz 대역의 전압제어 발진기를 개발하는 데 성공했다.윤의식 교수 기존의 반도체 공정으로 만들어지는 인덕터는 품질값이 낮아서 핸드폰 및 PDA 등에는 집적화되지 못하고 개별 소자를 조립하거나 납땜해 사용해 왔으나 윤의식 교수팀은 미세전자기계 시스템 MEMS(MicroElectroMechanical System) 기술을 도입해 기존의 반도체 기술과 호환될 수 있는 우수한 인덕터 제작공정을 개발했다. 전기저항을 줄이기 위해 전기 도금법으로 두꺼운 금속배선을 형성하고 기판 손실을 줄이기 위해 띄어진 구조체로 높은 품질값의 인덕터를 구현했다. 또 저온의 표면 미세 가공기술을 사용함으로써 기존의 CMOS 공정과 호환성도 우수해 앞으로 여러 가지 RF 칩을 개발하는 데 있어 반도체산업에 미치는 파급효과가 클 것으로 기대된다. 특히, 5GHz 대역의 전압제어 발진기는 고성능 MEMS 인덕터를 집적화했기 때문에 기존 CMOS 반도체 기술로만 구현된 것에 비해 6-7dBc/Hz 이상 위상 잡음 특성이 우수하고 저전력 구동이 가능하다는 장점을 갖는다. 윤의식 교수팀의 연구 결과는 이미 국내 학회를 비롯해 2002년 9월 유럽전자회로학회인 ESSCIRC(European Solid-State Circuit Conference)와 2003년 1월 IEEE 마이크로웨이브 저널(IEEE Trans. on MTT) RF MEMS 특집호에 발표됐으며, 6월에 열리는 IEEE IMS(International Microwave Symposium)에서 5GHz 전압제어발진기에 대해 발표하게 된다. <조인경 기자> <Chemical Journal 2003/06/12> |
