Showa, 한국 C4F6 시장 적극개척
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반도체 에칭용 공급위해 판매 자회사 설립 … 시장점유율 45% 목표 일본 Showa Denko가 반도체용 에칭(Etching) 가스인 C4F6(Hexafluoro-1,3-Butadiene)의 국내공급을 확대한다.C4F6는 선폭 90nm 이하의 첨단 프로세스용으로 수요가 신장하고 있으며 Showa는 현재 일본 및 타이완에 공급하고 있다. Showa는 앞으로 국내 공급에 중점을 두기 위해 판매 자회사인 Showa Chemical Korea를 설립해 국내시장 개에 적극적으로 나설 방침이다. 2005년 국내 C4F6 시장에서 Showa의 점유율은 약 20%에 그쳤으나 2010년까지 45%로 확대해 C4F6의 최대 공급기업으로 자리잡을 계획이다. Showa는 특수가스 전문 공급기업으로 질소갈륨(GaN)용 등 고순도 암모니아(NH3)와 반도체의 산화막 형성용 아산화질소(N2O)에서 높은 시장점유율을 차지하고 있으며, 고순도 염소(CI2)는 Kawasaki 공장의 생산능력을 증설함으로써 2008년까지 연간 1000톤으로 3배 이상 확대할 계획이다. C4F6는 국내시장 점유율을 대폭 확대할 방침인데, C4F6은 반도체의 산화막 에칭가스로 DRAM(Dynamic Random Access Memory)의 Contact Hall 가공에 사용된다. 특히, 선폭 130nm 프로세스로 사용되는 C4F8(Octafluorocyclobutane)보다 높은 Aspect 비율을 얻을 수 있으며 실리콘(Silicone) 산화막에 대한 고선택성이 특징이다. Showa는 일본이나 타이완에는 C4F6를 공급하고 있지만 최대시장인 한국에는 진출이 늦은 편이다. 그러나 국내 300mm 웨이퍼라인이 확대됨에 따라 C4F6 시장이 급성장할 것으로 판단해 Showa Denko Korea 설립을 발판으로 시장을 적극 개척해 경쟁기업에 반격할 준비를 하고 있다. 국내 C4F6 수요는 25-30톤으로 Showa 외에도 미국 Air Products와 일본 Kanto Denka Kogyo에서 공급하고 있다. Showa는 2010 국내수요가 100톤 수준에 달할 것으로 보고 C4F6의 국내시장 점유율을 45%까지 확대할 계획인 것으로 알려졌다. 또한 해외수요가 확대됨에 따라 현재 러시아에서 수입해 일본 Kawasaki에서 정제하고 있는 C4F6 중간원료를 Kawasaki에서 일관 생산하는 체제도 검토하고 있다. <화학저널 2007/02/14> |
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