UV 나노임프린트 기술 실용화 임박
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소형 실험장치 키트 잇따라 개발 … 원가 공급으로 비용문제 해결 Toyo Gosei가 자외선(UV)경화형 나노임프린트(Nanoimprint) 기술의 실용화를 위한 마지막 작업에 한창이다.Toyo Gosei는 UV경화형 나노임프린트 기술 보급을 위해 실험키트를 잇따라 개발하고 있다. 2008년 12월에는 감압조건에서 전사가 가능한 진공대응키트를 투입한데 이어 UV라이트 등을 내장한 최소형 실험키트를 개발하는데 성공했다. UV나노임프린트는 반도체나 차세대 HD(Hard Disc) 등 포토리소그래피 분야에서 채용이 기대되고 있으나 대당 수천만엔에 달하는 장치나 수㎡당 수백만엔 하는 모듈을 구입하기 위한 초기비용 부담이 커 기술연구에 걸림돌이 돼왔다. 이에 UV나노임프린트용 수지 공급기업인 Toyo Gosei는 장치나 몰드 생산기업과 제휴해 원가에 가까운 가격으로 실험키트를 제공함으로써 기술보급을 가속화할 것으로 기대되고 있다. Toyo Gosei가 개발한 UV 나노임프린트용 소형실험장치 키트는 고휘도 UV-LED라이트나 에어실린더를 이용한 압압(押壓)기구를 내장한 장치 외에도 6개의 전용수지와 실리콘(Silicone) 및 석영(Quatz) 몰드 등을 세트로 구성돼있다. 사이즈는 높이 436mm, 폭222mm로 세계에서 가장 작으며 도포후막, 잔존후막 모두 수십나노미터의 박막전사가 가능해 Reel to Reel 방식의 실험도 가능한 것이 특징이다. UV나노임프린트는 UV경화성 액상 모노머를 몰드와 기판 사이에 끼워 넣고 UV를 조사함으로써 나노사이즈의 미세패턴을 전사하는 기술로 반도체, 차세대 HD의 양산화 및 LED의 고효율화 등 포토리소그래피 분야에서 실용화를 앞두고 있다. Toyo Gosei는 2006년부터 석영몰드 생산기업인 Toppan Printing과 제휴해 간이실험키트(약 80만엔)를 공급하고 있으며 2008년 12월에는 기포 혼입에 따른 패턴결함을 대폭 줄일 수 있는 진공대응키트(약 100만엔)를 개발했다. 소형장치키트(약 150만엔)는 장치 생산기업의 엔지니어링 시스템을 활용해 개발했으며, 실리콘 몰드는 Kyodo International이 공급하고 있다. <화학저널 2009/03/31> |
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