화학뉴스

케이맥은 반도체 극초박막 분석기기 나노마이스(Nano-MEIS) 개발을 5년 만에 완료하고 7월4일 시연회를 개최했다.
시연회에는 개발에 참여한 한국표준과학연구원 문대원 박사와 국내 반도체기업 관계자가 참석했다.
반도체 및 바이오 분야에서 미세영역 물질의 성분을 분석하는 장비로는 TEM(Transmission Electron Microscope)이나 SEM(Scanning Electron Microscope)이 있지만 초미세 영역은 측정하기 어려운 한계가 있었다.
케이맥은 “기존 연구용으로 쓰이던 기기가 분석에 12-24시간 이상 걸리는데 비해 분석시간을 30분 이내로 줄였으며, 기기도 대폭 소형화해 상용화를 앞당길 수 있을 것”이라고 강조했다.
또 “케이맥의 주력산업인 디스플레이의 박막 두께를 측정하는 기술을 응용해 반도체 분석기기를 개발했다”면서 “반도체 표면 분석의 새로운 장을 열 것”이라고 기대했다.