두암산업, 반도체용 N2O 위탁생산
SD와 고순도 아산화질소 600톤 위탁 계약 … 아시아 공급거점으로
화학뉴스 2014.03.27
산업‧의료용 가스 생산기업 두암산업이 반도체 공정용 특수가스인 고순도 아산화질소(N2O) 생산을 개시한다.
두암산업은 Showa Denko와 위탁생산 계약을 체결하고 2014년 완공을 목표로 안성에 고순도 N2O 600톤 공장을 건설하고 있다. 건설비용은 전액 Showa Denko가 부담하고 있는 것으로 알려졌다. 이에 따라 Showa Denko는 고순도 N2O 공급능력이 일본 Kawasaki 소재 1200톤 공장을 포함해 1800톤으로 확대된다. 고순도 N2O는 화학기상성장(DVC: Chemical Vapor Deposition) 프로세스에서 절연 산화막 형성용 가스로 사용되며, 아시아는 반도체산업이 집적해있어 수요가 연평균 10-15%의 성장세를 이어가고 있다. 또 디스플레이를 생산할 때 산화막 산소원으로도 사용이 증가하고 있어 Showa Denko는 공급체제를 강화하기로 결정했다. Showa Denko는 앞으로 내수시장에는 Kawasaki 공장, 아시아 시장에는 두암산업 생산제품을 공급할 방침이다. Kawasaki 공장은 2014년 풀가동할 것으로 예상되고 있으며 안성공장은 수요에 따라 증설을 진행할 계획이다. Showa Denko는 중기 경영계획 2014년 1월에는 중국 Zhejiang 소재 자회사가 고순도 암모니아(NH3) 생산능력을 1000톤에서 2000톤으로 확대했다. <정세진 기자> <화학저널 2014/03/27> |
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