화학뉴스

Maruzen Petrochemical이 반도체 소재 사업을 강화하기 위해 박막 레지스트 주변소재를 잇따라 출시한다.
우선 반사방지막, 실장용 후막 레지스트용 폴리머를 사업화하고 NIP(Nanoimprint)용, 탈 금속이 가능한 수용성 폴리머를 연구개발할 방침이다.
Maruzen Petrochemical은 2013년 9월 일본 Chiba 공장에 반사방지막 시험생산설비를 도입한 후 샘플 출하를 개시했다.
레지스트 하부에 도포함으로써 반사광을 방지하는 용 폴리머를 중심으로 수요처로부터 높은 평가를 받아 양산을 본격화하기로 결정했다.
아울러 3차원 실장 등에 사용되는 후막 레지스트 소재도 사업화할 방침이다.
화학증폭형 i선(파장 365nm) 후막 레지스트용 폴리머로 샘플을 출하하고 있으며 시장이 급속히 성장할 것으로 예상됨에 따라 초기투자를 통한 점유율 확보에 주력하고 있다.
NIP 소재도 개발하고 있다.
NIP는 가격이 저렴한 미세가공기술로 소재 개발경쟁이 치열해지고 있어 Maruzen은 높은 드라이 에칭 내성을 통해 차별화할 방침이다.
우선 상대적으로 정밀도 및 리페어성의 중요도가 낮은 LED(Light Emitting Diode) 조명 분야를 개척할 계획이다.
LED 디바이스는 일반적으로 포토리소그래피공법을 활용해 사파이어기판에 패터닝을 실시함으로써 빛의 이용효율을 높여 휘도를 향상시키고 있다.
그러나 고가인 노광기가 필요한 단점이 있어 신규 참가기업들은 NIP가 우위를 점할 수 있을 것으로 예상하고 있다.
또 탈 금속이 가능한 반도체 프로세스용 수용성‧고내열성 폴리머를 개발하고 있다.
Maruzen은 전체 매출에서 박막 레지스트 주변소재가 차지하는 비율이 2012년 10% 수준에 불과했으나 2014년 20%, 2018년 50%로 확대해 주요 수익원으로 육성할 방침이다.