SCC, 액침 레지스트 생산능력 2배로 … KrF·CF용도 확대 검토
화학뉴스 2015.07.23
Sumitomo Chemical은 반도체 및 FPD(Flat Panel Display)용 레지스트 생산을 확대한다.
최첨단 반도체 프로세스에 사용되는 ArF 액침 레지스트는 Osaka 공장의 생산능력을 2배 확대해 2016년부터 본격 양산할 계획이며 KrF 레지스트도 실장용 수요가 안정적으로 신장함에 따라 생산 확대를 검토하고 있다. 세계시장 점유율 1위인 FPD 칼라필터(CF)용 레지스트는 동우화인켐을 중심으로 양산하고 있는 가운데 중국 수요 신장에 대응하기 위해 생산 확대를 검토하고 있다. SCC는 정보전자 사업 가운데 부가가치가 높은 레지스트에 주력하고 있다. ArF 액침 레지스트는 세계시장 점유율 30% 이상을 목표로 2009년 약 120억엔을 투입해 Osaka 공장을 완공했으며 반도체 프로세스 미세화의 영향으로 수요가 안정적으로 신장함에 따라 2014년 풀가동에 들어갔다. 이에 따라 액침 레지스트 생산능력을 10만갤론으로 2배 확대했으며 수요처 인정 작업을 진행하고 있어 2016년 풀가동할 것으로 예상하고 있다. 아울러 선폭 10nm대의 미세화 대응도 추진하고 있다. 차세대 리소그래피인 EUV 노광에 대한 관심이 높아지고 있기 때문으로 선폭 6-7nm에 대응한 EUV 레지스트도 개발하고 있다. 또 글로벌 반도체 시장은 후박 레지스트 수요가 증가세를 계속하고 있다. 특히, KrF 레지스트가 스마트폰 등의 카메라에 사용되는 이미지센서 실장용으로 호조를 보이고 있다. SCC는 투명성이 높은 차별제품을 공급하고 있으며 삼차원 트랜지스터용 수요도 증가할 것으로 예상됨에 따라 생산 확대를 검토하고 있다. 다만, 반도체 레지스트는 기술 혁신이 빠르게 이루어지기 때문에 스피드를 가장 중시하고 있다. 최근 들어서는 연구개발 및 영업체제를 모두 Osaka 공장에 집약해 수요처의 의견을 빠르게 반영할 수 있는 체제를 구축하고 있다. CF용 레지스트는 동우화인켐을 중심으로 생산하고 있다. 염료와 안료의 장점을 양립시킨 독자의 하이브리드형 레지스트를 공급하고 있는 가운데 액정TV 대형화 등의 영향으로 급성장하고 있는 중국의 대규모 액정패널 공장이 가동함으로써 수급이 타이트해질 것으로 우려되고 있다. 이에 따라 반도체 레지스트와 함께 생산 확대를 고려하고 있는 것으로 알려졌다. <화학저널 2015/07/23> |
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