단일벽 탄소나노튜브(SWCNT) 전문기업인 KH케미컬과 인천대 진성훈 교수 연구팀이 인천대에 연구소를 설립하고 SWCNT에 기반을 둔 반도체 웨이퍼 기술 개발에 들어갔다고 9월17일 발표했다.
SWCNT는 높은 전류 구동능력 특성 등으로 반도체 소자로 응용할 때 나노크기의 채널로 전자이동을 제어할 수 있어 기존 실리콘(Silicone) 소자보다 고집적·초저전력의 소자 구동이 가능하다는 특성이 있어 차세대 반도체 소자로 주목받고 있다.
연구팀은 용액공정 기반의 SWCNT 정렬기술 및 초고순도 정제기술을 확보해 차세대 반도체 소자로 활용할 수 있는 기초기술을 개발했으며, 지속적인 협업으로 해당기술을 적용해 2016년 상반기까지 SWCNT 기반 반도체 웨이퍼를 개발할 계획이다.
진성훈 교수는 “KH케미컬 SWCNT는 반도체성 성분이 80% 이상으로 차세대 반도체 소자 적용에 이상적인 소재로 평가받고 있다”며 “협력을 통해 차세대 반도체 상용화의 길을 앞당길 수 있을 것”이라고 강조했다.