DuPont, C2F6 50만파운드 증설
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DuPont은 뉴저지주 Dee-pwater 소재 Hexafluoroethane(C2F6) 플랜트 생산능력을 50만파운드 증설할 계획이다. C2F6는 반도체 Etchant 및 Chemical Vapor Deposition Chamber의 세정제로 사용되는 제품이다.<CW 99/09/08> <화학저널 1999/11/1> |
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