SK머티리얼즈‧효성 등은 삼불화질소(NF3)가 온실가스 규제대상으로 지정되면 타격이 불가피할 것으로 예상된다.
NF3는 최근 국무조정실 온실가스 종합정보센터가 온실가스 감축을 위한 실태조사를 벌이는 과정에서 NF3의 생산량, 판매량을 파악할 필요가 있다며 한국산업특수가스협회 및 생산기업들에게 협조공문을 보냄에 따라 온실가스 규제대상으로 지정되는 것이 아니냐는 우려가 확산되고 있다.
NF3는 지구온난화지수가 이산화탄소(CO2)에 비해 1만7200배나 높기 때문에 규제 이행이 본격화되면 스크러버 등 온실가스 감축시설 구축, 탄소배출권 거래비용 등 막대한 리스크가 발생할 것으로 예상된다.
아울러 후방산업인 반도체 및 디스플레이 생산기업들은 원료코스트가 상승함에 따라 글로벌 시장에서 가격경쟁력이 약화될 것으로 우려하고 있다.
현재 NF3 대체물질로 불소(F2)가 거론되고 있으나 기존 NF3 생산량 및 사용량이 크고 대체에 소요되는 비용이 막대해 현실적이지 못한 것으로 지적되고 있다.
이에 따라 한국산업특수가스협회가 특수가스 관련기업들과 함께 3월10일 대책회의를 진행했으며 NF3가 규제대상에 포함되지 않도록 구체적인 방안을 마련하기로 했다.
시장 관계자는 “국내 NF3 생산량은 글로벌 생산량의 60%에 달한다”며 “특히, 국내 주력산업인 반도체‧디스플레이 생산에 주로 투입되기 때문에 온실가스로 규제돼 사용이 제한되거나 코스트가 상승하면 큰 타격을 입을 것”이라고 주장했다.
NF3는 최근 삼성전자, SK하이닉스 등 반도체 생산기업이 미세공정, 3D공정을 잇달아 도입하면서 증착 및 세정용 수요가 늘어남에 따라 신증설이 적극 이루어지고 있다.
국내 NF3 생산능력은 SK머티리얼즈 7600톤, 효성 2000톤, AirProducts 800톤으로 파악되고 있다.
특히, SK머티리얼즈는 전체 매출의 70-80%를 NF3 사업에서 창출하고 있어 온실가스 규제대상 지정에 따른 리스크가 상당할 것으로 판단된다. <강윤화 기자>